白光干涉儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。可測各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價(jià)標準。

 

　　白光干涉儀原理：

　　干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì )非常靈敏地導致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過(guò)的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過(guò)干涉條紋的移動(dòng)變化可測量幾何長(cháng)度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關(guān)的其他物理量。測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動(dòng)一個(gè)條紋間距，光程差就改變一個(gè)波長(cháng)（～10-7米），所以干涉儀是以光波波長(cháng)為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所無(wú)法相比的。

 

　　應用領(lǐng)域：

　　對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

 

　　特點(diǎn)：

　　1、非接觸式測量：避免物件受損。

　　2、三維表面測量：表面高度測量范圍為 1nm-200μm。

　　3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。

　　4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達0.1nm。

　　5、高速數字信號處理器：實(shí)現測量?jì)H需幾秒鐘。

　　6、掃描儀：閉環(huán)控制系統。

　　7、工作臺：氣動(dòng)裝置、抗震、抗壓。

　　8、測量軟件：基于windows 操作系統的用戶(hù)界面，強大而快速的運算。