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直接鍵合設備在日常使用中有著(zhù)眾多特性
直接鍵合設備在日常使用中有著(zhù)眾多特性
更新時(shí)間:2022-06-13 | 點(diǎn)擊率:1051
直接鍵合設備是一種自動(dòng)化的單腔室生產(chǎn)鍵合機,設計用于中試線(xiàn)生產(chǎn)以及用于晶圓級封裝,3D互連和MEMS應用的大批量生產(chǎn)的研發(fā)。它是基于模塊化設計,為我們未來(lái)的晶圓鍵合工藝從研發(fā)到大規模生產(chǎn)的全集成生產(chǎn)鍵合系統過(guò)渡提供了可靠的解決方案。
應用:
薄晶圓臨時(shí)鍵合解鍵合,將已經(jīng)鍵合的材料從載板上剝離。應用于TSV,儲存器,CMOS,功率器件等的加工過(guò)程。
產(chǎn)品特性:
1、高溫度、高壓力、高真空選項,滿(mǎn)足各種鍵合工藝參數;
2、精度溫度控制;
3、精度壓力控制;
4、適用于超厚晶圓;
5、壓盤(pán)自調節設計,避免損傷晶圓、提高良品率;
6、多路特氣接口,支持更多工藝;
7、適用于非常薄的易碎晶圓(<40 um)和柔性塑料材料。
主要功能:
直接鍵合設備是將含焊接頭裝載在一個(gè)可以前后,左右,上下,三軸運動(dòng)的機器人機臺上,按照預先編輯程序設定的動(dòng)作進(jìn)行運動(dòng),對需要焊接的元件進(jìn)行焊接。
可實(shí)現手工焊接和其他焊接手段難以完成的功能,特別適合對焊接空間小,焊錫量控制要求高,焊接品質(zhì)要求高的場(chǎng)合。主要應用于汽車(chē)電子,數字控制,移動(dòng)通信終端,軍工等的電路板的焊接,屬軟釬焊類(lèi)的焊接設備。
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