電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測量?jì)x器，具有一般非接觸式儀器所共有的無(wú)磨擦、無(wú)損磨和無(wú)惰性特點(diǎn)外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線(xiàn)性小，精度穩定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。
電容式位移傳感器：非接觸式高分辨率近距離位移測量
美國Microsense公司(前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司)開(kāi)創(chuàng )了高辨率電容式位移傳感器的先河，致力于為客戶(hù)提供以藝術(shù)級別性能的高精度非接觸式微位移傳感器。
電容式位移傳感器特性
1.*非接觸式電容式微位移測量—準確的電子感應技術(shù), 無(wú)損樣品測量
2.優(yōu)化的近距離測量—測量距離在10微米到5毫米
3.高準確性，高靈敏性測量，精度可達0.5nm。
4.可探測任何可傳導性、接地的測量目標—表面是否拋光以及材質(zhì)對測量準確度無(wú)任何影響
5.用途廣泛: 金屬薄片厚度測量,振動(dòng)測量,工作臺垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)測量,精密馬達轉軸偏振測量(Axial, Radial, Spindle runout),精密儀器工作平臺定 位，設備自動(dòng)聚焦測量(微影設備，原子力顯微鏡，光罩探測，圖像確認，LCD生產(chǎn)設備…)
4800系列 5800系列6800系列8800系列 6360厚度測量系統
4800系列 以至優(yōu)化的線(xiàn)性和穩定性著(zhù)稱(chēng), 一款多功能測量設備
5800系列 以高動(dòng)態(tài)測量著(zhù)稱(chēng)--高分辨率測量，可達100Khz 帶寬測量，可靠性測量甚至達觸
地物例如氣動(dòng)轉子和馬達
6800系列 擁有皮米級別噪聲分辨率
8800系列 以擁有*好的線(xiàn)性和穩定性系統著(zhù)稱(chēng)，測量帶寬高達20K HZ,納米級分辨率，超低
噪聲上乘的伺服定位反饋系統設計
Mini系列 迷你壓縮型傳感器測量系統
6360系列 非接觸式，高精度測量硅片、CD、DVD、光盤(pán)厚度
圓柱型測量探頭 45°傾角測量探頭 矩型測量探頭 直角型測量探頭
圓柱型測量探頭探頭直徑0.5mm 到5mm 可選
45°傾角測量探頭 可緊貼圓柱形被測物測量
矩型測量探頭 測量馬達及軸向轉動(dòng)物時(shí)可提供*大分辨率
直角型測量探頭用于測量受限空間測量
設備應用
定位測量系統應用：遠程位置調節器的伺服反饋系統應用
間距和位移測量應用 ：空間測量及檢測 軸向位移測量
轉動(dòng)測量系統應用：馬達精度和轉軸轉動(dòng)測量 轉軸測量計精度校準測量 直線(xiàn)和平面平臺精度測量
厚度測量系統應用：磁性介質(zhì)厚度測量 光盤(pán)厚度測量
自動(dòng)聚焦和歸零測量應用：半導體硅片測量
振動(dòng)測量系統應用：樣品臺精度振動(dòng)測量 轉軸振動(dòng)精度測量 主動(dòng)性防震系統反饋測量
設備性能及主要參數
1.量程： ±25µm 到±1000µm滿(mǎn)量程測量
2.分辨率： 優(yōu)于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz
3.帶寬： 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz 可選
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產(chǎn)品型號：Microsense 5810/6810
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