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簡(jiǎn)要描述:等離子去膠工藝擁有低污染顆粒,低成本大規模量產(chǎn),高均勻性與高可復制性等工藝特征。
產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category詳細介紹
boffotto 寶豐堂自主研發(fā)設計生產(chǎn)的先進(jìn)干法去膠、掩膜蝕刻系列產(chǎn)品,可用于大批量去膠與大劑量離子注入后去膠,同時(shí)還可用于各種硬掩膜層干法蝕刻。
微波等離子清洗,等離子去膠工藝擁有低污染顆粒,低成本大規模量產(chǎn),高均勻性與高可復制性等工藝特征。采用高度模塊化設計,為廣大客戶(hù)提供多樣靈活配置方案,滿(mǎn)足不同的先進(jìn)制程要求。
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