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FR-Ultra NIR N3 晶圓厚度測量系統

簡(jiǎn)要描述:FR-Ultra 是一款專(zhuān)用于精確測量半導體以及介電材料超厚層的專(zhuān)用設備。 藉由先進(jìn)的光學(xué)器件,FR-Ultra 可以測量光滑或粗糙的薄膜以及較厚的基材。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時(shí)間:2024-03-19
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量: 777

詳細介紹

FR-Ultra 是一款專(zhuān)用于精確測量半導體以及介電材料超厚層的專(zhuān)用設備。 藉由先進(jìn)的光學(xué)器件,FR-Ultra 可以測量光滑或粗糙的薄膜以及較厚的基材。


典型應用包括:厚玻璃的厚度測量(厚度可達 2 毫米,透明或霧面)晶圓厚度測量(例如直徑達 12 英寸的單面或雙面拋光晶圓)。


FR-Ultra可以很容易地與笛卡爾坐標系和極坐標結合,用于大面積的厚度測量。


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硅片厚度分布圖(12英寸)


特點(diǎn):

o 單擊分析(無(wú)需輸入初始預估值)

o 動(dòng)態(tài)測量

o 內建700種以上不同材料

o 可安裝多個(gè)離線(xiàn)分析軟件

o 免費軟件更新


FR-Ultra NIR N3 中文版正式.jpg



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